主要完成单位及创新推广贡献:
1. 清华大学,排名1,自2008年牵头开展本项目研究。牵头完成863计划重点项目,声电与磁电功能薄膜材料与器件,2009AA034001;2009年起与中电26所合作完成863计划项目,高频声表面波关键材料与应用研究,2009AA03Z444和863计划项目,新型声表面波滤波器与多层片式压敏陶瓷技术,2013AA030801。共同开展了材料与器件产业化技术的研究。自2008年起与无锡好达建立合作关系,2013年起共同开展高功率、大带宽滤波器的产业化技术研究,发展器件微型化技术。自2013年起与深圳市麦捷微电子科技股份有限公司建立合作关系,共同开展高世代滤波器的后封装产业化技术研究。2014年起与深圳大学合作研究换能器材料。主要创新贡献情况:对创新点1-4均作出重大贡献。突破了声表面滤波器换能器材料功率耐受性提升技术,协助发展了大带宽低插损器件控制技术和微型化设计与器件精细加工技术,建立了滤波器实验研发中试线,共同推进了滤波器产业技术的发展。授权发明专利5件,专著1部,论文30余篇。
2.
中国电子科技集团公司第二十六研究所,排名2,自2008年起与清华大学合作本项目研究。牵头与清华大学一起完成863计划项目,高频声表面波关键材料与应用研究,2009AA03Z444和863计划项目,新型声表面波滤波器与多层片式压敏陶瓷技术,2013AA030801。共同开展了滤波器材料与器件产业化技术的研究。自2013年起与深圳麦捷微电子科技股份有限公司建立合作关系,共同开展高世代滤波器的后封装产业化技术研究,为深圳麦捷微电子科技股份有限公司提供滤波器晶圆芯片。主要创新贡献情况:对创新点1-4均做出贡献。共同开展了声表面波滤波器换能器材料功率耐受性提升技术,开发出声电磁设计平台与技术,获得滤波器/双工器等微型化设计与器件精细加工技术,突破了长阵列深亚微米指条制作及批产工艺技术,建立了年产20亿只高世代声表面波芯片(前道)生产线,产品在防务领域应用于路基相控阵雷达、空警/海警系列预警机、XXX类型大型驱逐舰、XX系列导弹等。授权发明专利4件。
3. 无锡市好达电子有限公司,排名3,自2008年与清华大学合作本项目研究。2013年与清华大学共同开展高功率、大带宽滤波器、微型化器件的产业化技术研究。主要创新贡献情况:对创新点1-4均做出贡献。共同发展了声表面波滤波器换能器材料功率耐受性提升技术,首次设计并制备出大带宽、低插损的声表面波滤波器,突破了声表面波只能制备窄带滤波器的壁垒,将器件带宽从5%增加至20%。发展处滤波器微纳尺度精准加工技术,滤波器尺寸达到0.8×0.6×0.45毫米,建立了自主知识产权的年产能达10亿只高世代滤波器件的生产线,成功生产全规格的微型化、高功率器件,产品近60个品种。授权发明专利4件和实用新型专利3件,论文5篇。
4. 深圳麦捷电子科技股份有限公司,排名4,自2014年起与清华大学和中国电子科技集团公司第二十六研究所建立合作关系,共同开展高世代滤波器的后封装产业化技术研究。主要创新贡献情况:对创新点3-4做出贡献。共同开展了滤波器设计技术,发展了倒装焊、在线检测等产业化技术,建立了1条自主知识产权的年产能达到5亿只高世代滤波器件后封装生产线,成功批量生产滤波器、双工器,滤波器等产品已广泛应用于通讯、消费类电子等领域。授权发明专利2件。5. 深圳大学,排名5,2008年至2011年,深圳大学罗景庭副教授参加了清华大学牵头的863计划重点项目,声电与磁电功能薄膜材料与器件,2009AA034001;以及中电26所牵头的863计划项目,高频声表面波关键材料与应用研究,2009AA03Z444和863计划项目,新型声表面波滤波器与多层片式压敏陶瓷技术,2013AA030801。2014年起与清华大学合作重点研究换能器材料。主要创新贡献情况:对创新点1做出重大贡献。研究了Al(Ti/Ni等)叉指换能器薄膜材料的形核与生长机理,阐明了换能器材料受高频交变应力条件下电迁移规律,对发展具有强(111)织构的高性能多层结构换能器材料有较大贡献。协助建立了滤波器实验研发中试线。发表论文3篇。