三孚股份 :唐山三孚电子材料有限公司年产500吨电子级二氯二氢硅及年产1000吨电子级三氯氢硅项目
电子级二氯二氢硅及三氯氢硅主要应用在硅外延片生产领域。
半导体制造商生产集成电路 (IC) 芯片用硅片分别采用硅抛光片 (PW) 和硅外延片。
外延片广泛应用于制作不可恢复器件, 包括MPU、 逻辑电路芯片、 快闪存储器、
DRAM 等。
以 电子级二氯二氢硅、 三氯氢硅为反应气体, 在一定的保护气氛下反应生成硅原子
并沉积在加热的衬底上, 最终生成满足半导体行业要求的硅外延片。 可见电子级二氯二
氢硅及三氯氢硅作为电子气体在硅外延片生产过程中 的重要性。在微电子、 光电子元件生产过程中 , 从芯片的生长到最后元件的封装, 几乎每一步,电子级二氯二氢硅和三氯氢硅作为微电子、 光电子元件制造过程中不可或缺的重要。