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碳化硅,半导体重要材料——天富能源

19-07-17 10:00 4459次浏览
浪里个浪儿
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作为第三代半导体中的明星,碳化硅因为其独有的特性和优势受到各方青睐。尤其是时下电动汽车市场的火爆,助推了碳化硅器件的发展与应用。不过,作为新兴事物,碳化硅器件的产品良率及价格问题使得其应用变得扑朔迷离。碳化硅器件到底好在哪?目前主要应用领域?成本与硅相比差多少?发展前景如何?最近,碳化硅主要供应商罗姆半导体公司举办座谈会,罗姆半导体(北京)有限公司技术中心所长水原德建先生就这些问题进行了详细介绍。

碳化硅的特性优势
碳化硅(SiC)是具有1x1共价键的硅和碳的化合物半导体,被视为第三代宽带隙半导体材料的重要组成单元,业界普遍认为其具有广阔的应用前景。
作为宽带隙半导体,碳化硅具有宽的禁带宽度(禁带宽度大于2.2ev)、高热导率、高击穿电场、高抗辐射能力、高电子饱和速率等特点,这使得碳化硅特别适用于需要高温、高频、抗辐射及大功率器件的应用中。
上图展示了碳化硅和硅及GaN在5大特性方面的对比,可以看出,碳化硅在各方面都比硅性能要好得多,即便是和同样第三代宽带隙半导体的GaN相比,碳化硅在热导率特性上也要更优异。
和硅相比,碳化硅具有更高耐压,从而可以使半导体层更薄、阻值更低,碳化硅也因其更低的功耗而成为电力电子领域最具前景的材料。
碳化硅为终端应用带来的好处
碳化硅材料的天生优势赋予了碳化硅基器件的强大性能,使用碳化硅替代硅,我们能获得哪些好处呢?
首先碳化硅所具有的更低阻抗使最终器件的尺寸更小,效率更高;其次,碳化硅器件可以在更高频率下运行,从而可以使用更小的被动元器件;另外,碳化硅器件可以在更高的温度下运行,因此,就降低了系统冷却要求,可以使用更简单更小型的冷却系统。另外,SiC-SBD与Si-FRD相比恢复特性也很优异,其恢复过程几乎不受电流、温度的影响。SiC-MOS与Si-IGBT和Si-MOS的开关特性相比,关断时的损耗大幅减小,体二极管的恢复特性更好。
例如,对于一个5kW的DC/DC转换器,如果使用SiC MOSFET替代Si IGBT,损耗可以降低63%,体积也减小,整个系统的重量从原来的7kg降为0.9kg。体积和重量之所以大幅下降,是因为里面使用的SiC芯片更小,功耗更低,下面的散热板也就相应变小了,而且频率提高后,周边器件包括变压器、线圈都可以做的很小,整体而言,体积和重量就降下来了。
在电动方程式大赛中,SiC带来的优势更是让人印象深刻。罗姆在2016年第三赛季开始与文图瑞Formula E车队进行技术合作。文图瑞赛车的逆变器在第二赛季的时候使用的还是传统IGBT模块,在第三赛季的时候用上了罗姆的IGBT加上SiC的肖特基,在第四赛季时采用了罗姆的全SiC模块,所谓全SiC就是SiC的MOS加上SiC的肖特基。结果显示,相比第二赛季,第三赛季的逆变器重量减轻了两公斤,尺寸减少了19%,而第四赛季搭载全SiC之后,重量减轻了将近6公斤,尺寸减少了43%。最直接的好处是重量降下来之后,赛车的行驶距离更长了。
适于碳化硅器件的用武之地
虽然碳化硅材料具有比硅更好的特性,但并非可以完全取代硅。作为最广泛的半导体材料,硅仍然具有它的不可替代的应用领域。
目前来看,基于碳化硅材料的功率半导体适合应用于高频高功率高工作电压的应用场合。例如,光伏储能和数据中心服务器领域,已经在广泛使用碳化硅器件,随着碳化硅MOS的工作电压的提高,未来高速铁路、风电等领域也是碳化硅的潜在应用市场,同时,时下的电动汽车是碳化硅的一个热点市场。
综合来看,SiC在一些特定应用中正在迅速取代原来的硅基产品,同时,由于其的新特性,SiC器件正在新兴应用领域中迅速扩展。
碳化硅器件和硅器件的成本对比
一般来看,碳化硅器件比硅器件价格高,所以采用碳化硅后终端产品成本相对来说也要高一些。但如果综合考虑整体成本,事实上并没有增加。对于整车厂来说,使用SiC可以提高逆变器效率,从而能够降低电池容量和成本,平衡一下,结果是提高了效率而整体价格并没有提高。另外,电池的降价也会平衡使用碳化硅器件的成本。总体来看,罗姆认为,大约到2021年左右,汽车采用碳化硅后会带来整体价格上的下降。
碳化硅厂商的应对之策
为了满足市场应用需求,碳化硅厂商也在不断提升生产能力,以满足市场需求。
罗姆半导体是全球主要的碳化硅生产供应商,它还是少有的可以提供从碳化硅晶棒生产到晶圆制造,再到封装组装等完全垂直整合制造工艺的厂商。罗姆的碳化硅产品不仅提供SiC-SBD、SiC-MOS,还提供碳化硅功率模组,未来会在提供更大尺寸的晶圆,提升碳化硅器件的工作电流电压、提供更多类型的封装形式上加大投入力度。
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浪里个浪儿

19-07-17 11:33

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小幅资金获得关注
浪里个浪儿

19-07-17 11:11

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@月光下的宅男  @月光下的宅男 可是国内也就他们集团的碳化硅最牛掰,标的就这一个,不然炒谁?
浪里个浪儿

19-07-17 11:11

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@月光下的宅男  @月光下的宅男 可是国内也就他们集团的碳化硅最牛掰,标的就这一个,不然炒谁?
浪里个浪儿

19-07-17 11:07

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1.一种光刻机用碳化硅移动平台制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)超细化处理:对碳化硅微粉92份,碳化硼2份,碳粉3份,硼化钛5份,酚醛树脂8份,料浆调节剂2份进行超细化处理;(2)混料提纯:利用连续式循环砂磨机对粗颗粒原料进行微粉化处理,采用高品质碳化硅磨介,在研磨过程中加入提纯剂和高纯度去离子水对原料进行提纯处理,最终制得纯度高、粒度细的料浆,研磨时间24小时,料浆细度D50不大于0.3毫米;(3)喷雾造粒:采用离心式喷雾干燥机对料浆进行喷雾干燥,通过控制喷雾压力、进风温度、出风温度、喷片粒径获得颗粒形态好、流动性好、颗粒分布范围窄、水分适中的造粒粉,喷嘴转速为20,进风温度210摄氏度,出风温度110摄氏度,造粒粉指标为:成型密度不小于2.0g/cm3,流动性不大于30s/30g;(4)干压成型:采用干压与冷等静压方法对样件进行近净成型,通过调节成型压力和保压时间,确保得到致密度高的陶瓷生坯,干压成型压力为2500吨,单位压力为1500kg/cm2,冷等静压单位压力为2000kg/cm2,生坯密度不小于2.05g/ cm3;(5)生坯固化:将压制好的生坯放入烘箱中按照设定的固化曲线进行加热固化,以提高生坯强度,同时还可以预防烧结开裂,固化温度为200摄氏度,固化时间为5小时;(6)生坯预加工:利用生坯加工中心结合加工程序设计,对压制成型的陶瓷生坯按照样件设计模型进行生坯预加工,得到尺寸和精度符合烧结和最终产品要求的阀门生坯,减少烧结后的加工处理;(7)高温烧结:通过控制烧结炉的升温曲线和保温时间参数,控制晶粒精确生长,使得产品的内部组织结构致密,晶体形态及尺寸优良,烧结温度为2200摄氏度,烧结时间为18个小时;(8)成品精加工:利用超声振动加工中心对烧结成的碳化硅陶瓷阀门进行精密加工,并进行产品表面抛光,确保加工后的阀门尺寸精度符合产品要求。
浪里个浪儿

19-07-17 10:49

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碳化硅
浪里个浪儿

19-07-17 10:48

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光刻机,位置低
浪里个浪儿

19-07-17 10:38

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碳化硅用来制作光刻机
 
  
浪里个浪儿

19-07-17 10:00

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公司是全国唯一专利规模化生产碳化硅的企业,完全替代进口,国家重点扶持项目。06年5月,全资子公司汇合达与中科院物理研究所等组建北京天科合达蓝光半导体有限公司(09年天科合达引进新股东,增资完成后,天科合达注册资本为10375万元,汇合达持股40.8%),以中科院物理研究所专利技术在北京进行碳化硅晶体研究和中试生产,从而进入第三代半导体材料碳化硅晶片产业,成为全球碳化硅晶片的主要供应商。碳化硅除了用于科研,还广泛用于航空,半导体,LED,战机,航母,高铁,动力电池,超级电容器,计算机,导弹等高端前沿领域。09年2月,天科合达共安装碳化硅晶体生长炉33台,初步具备了批量生产2英寸6H/4H导电型碳化硅晶片的能力,同时公司正致力于3,4英寸碳化硅晶片的研制开发,并已开发出非掺杂半绝缘碳化硅晶体生长技术。
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