高纯电子特气的国内龙头地位已经确立,并实现快速增长。
许从应博士,国家科技重大专项(“02专项”)高纯特种电子气体首席科学家,现任江苏许从应博士,国家科技重大专项(“02专项”)高纯特种电子气体首席科学家,现任江苏南大光电材料股份有限公司副总裁及技术总监。1992年南京大学毕业后赴美留学,在美国新墨西哥大学取得有机合成博士学位。1997年进入美国知名电子材料公司(
ATMI)工作,长期从事超大规模集成电路相关的高纯电子材料研发和产业化工作,多年来领导研发团队同IBM、三星、Intel、
德州仪器 等国际顶尖的半导体公司合作开发新材料和新工艺,其研发的产品及核心技术已经应用于Intel、IBM等半导体芯片制造企业,创造了很好的市场价值。许博士现已获得美国发明专利94项,发表学术论文45篇,并于2002年荣获“美国总统绿色化学挑战奖”。
2011年,许博士辞去美国的工作,加盟南大光电,全面负责公司新产品开发工作。许博士在世界尖端半导体材料领域多年的研究和应用开发经验很快受到国家层面的高度重视,并委以重任,担任国家科技重大专项(02专项)在高纯电子气体领域的首席科学家,领导国内六家本土企业联合开发国家亟需的31种高纯电子气体产品。
中国的集成电路市场很大,2013年的市场销售规模达9000多亿元人民币。高纯气体,作为集成电路产业的重要组成部分,尤其是在高纯特种电子气体的研发及产品供应方面,多年来一直是几家跨国公司的天下。这些产品除具有高额的经济附加值外,相关领域的产品研发直接关乎国家安全。“在国外人家能做到的,我们在国内也一定能做到。”许博士一直这么认为。
高纯磷烷和砷烷是高纯特种电子气体家族中,技术门槛最高,开发难度最大的两个品种。世界上仅有两家公司提供产品,是超大规模集成电路制造,LED,
太阳能 工业,以及航天和国防事业的关键原材料,几十年来一直被欧、美、日等国家实施技术封锁,国家从第六个“五年计划”就开始推进高纯磷烷和砷烷的国产化,三十多年来一直未取得突破。许博士现在身肩重任,领导研发团队于2013年承担了国家“02专项”高纯砷烷,磷烷等特种气体的研发和中试的课题。经过近两年的艰苦攻关,目前已经取得重大技术突破,进入产品中试阶段,不久将会量产。大规模产业化的成功将是中国高纯特种电子气体材料发展的重要里程碑。除了磷烷和砷烷外,许博士的研发团队也正在开发其他十多种集成电路领域亟需的高纯电子材料,如HCDS,TDMAT等,这些材料的成功投放市场,将填补国内空白。“国家把我们请回来,是出于国家的需要和对我们的信任。应该怀着一颗感恩的心,踏踏实实地为国家做一点贡献。”许博士是这样说的,也是这样做的。