点赞女神之灵魂洗礼_神龙飞

神龙飞

16-03-29 07:58

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随着核高基02专项解决了光源、物镜等核心部件受制于人的情况，国产光刻机技术进步即将迎来一个发展期，虽然据小道消息称已经成功研发出55nm级别的光刻机，但由于有国外大厂淘汰的二手设备的存在，使国产光刻机基本不具备市场竞争力。

神龙飞

16-03-29 07:57

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西方国家绞杀+在没有掌握核心设备生产能力+科研资金有限+技术团队流失的情况下，上海微电子的光刻机无法升级，所以到现在一直卡在90nm。

神龙飞

16-03-29 07:57

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因国内光刻机市场被外商占据，上微重金研发的90nm光刻机因光源技术上受制于人，导致产能不稳定，巨额研发资金血本无归。国家减少了扶持力度，导致上海微电子效益很差，研发人员无法安心研发技术，厂子人心浮动，造成大批技术骨干流失。

神龙飞

16-03-29 07:57

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同时，西方国家对中国开放65nm光刻机，并通过各种渠道游说中国政府和国企，中国能够采购到比国产更先进的光刻机后，或多或少的影响了对光刻机核心零部件的研发，不同程度上减少了对上微的扶持力度。

神龙飞

16-03-29 07:54

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一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、激光刻蚀等工序。经过一次光刻的芯片可以继续涂胶、曝光。越复杂的芯片，线路图的层数越多，也需要更精密的曝光控制过程。现在最先进的芯片有30多层。

神龙飞

16-03-29 07:53

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再来说说光刻机工作原理。通过一系列的光源能量、形状控制手段，将光束透射过画着线路图的掩模，经物镜补偿各种光学误差，将线路图成比例缩小后映射到硅片上，不同光刻机的成像比例不同，有5:1，也有4:1。然后使用化学方法显影，得到刻在硅片上的电路图（即芯片）。

神龙飞

16-03-29 07:53

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现在江阴的长电科技就是用后道光刻机来加工iphone 6芯片的。虽然在前道光刻机方面严重依赖进口，但在后道光刻机和投影光刻机方面，国内厂商还是颇为可圈可点的——上海微电子的国内市场占有率超过80%，全球市场占有率为40%；用于LED制造的投影光刻机的市场占有率为20%。

神龙飞

16-03-29 07:53

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光刻机用途广泛，有用于生产芯片的前道光刻机，有用于封装的后道光刻机，还有用于LED制造领域的投影光刻机。前道光刻机就是在芯片生产中将电路图映射到硅片上的光刻机，后道光刻机也被称为封装光刻机、bumping光刻机，在芯片生产出来后，线路图是裸露在外面的，还需要用后道光刻机来装个壳，就是常见的芯片四四方方、带针脚和商标的那一层。

神龙飞

16-03-29 07:52

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什么是光刻机？光刻机是芯片生产中最核心的设备，也是大陆芯片生产设备制造的最大短板。不少网友会将光刻机和刻蚀机搞混，其实，光刻机的工作原理是用光将电路结构临时“复制”到硅片上，而刻蚀机是按光刻机刻出的电路结构，刻出沟槽的设备，是在芯片上做减法，与之相应的是做加法（镀膜）。

神龙飞

16-03-29 07:52

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铁流：中科院、上微自主研制成功新型光刻机有望局部实现国产化替代此博文包含图片 (2016-03-28 23:02:59)转载▼
标签：时评科技分类：时政
日前，中科院光电技术研究所自主研制成功紫外纳米压印光刻机。与此同时，上海微电子也发布了平板显示光刻机，产品良率高达95%（原本的良率为70%-80%）的高亮度LED光刻机，MEMS和功率器件光刻机。虽然媒体仅仅轻描淡写报道，但这些消息却蕴含着不同寻常的意义。