离子注入机:
离子注入在整个晶圆加工中占比约5%,工艺主要流程:“离子源---离子加速器---离子质量分析器---扫面系统”,虽然占比不如光刻机,但是也是不可或缺的重要设备。
IC离子注入机的市场份额高度集中,主要被美日厂商垄断。美国
应用材料 公司(曾收购Varian)、Axcelis占据全球大部分IC离子注入机的市场份额,其中美国应用材料公司占50%以上,Axcelis的主要产品高能离子注入机市占率为55%。
目前离子注入机的国内市场规模将达到6亿美元,中长期将升至10亿美元以上。据对国内产线的统计,预计现有规划的本土晶圆产线的最高峰投资额将达到200亿美元。依据IC离子注入机在晶圆制造工艺设备的市场规模中占比3%左右推算,国内离子注入机市场规模将达到6亿美元,相当于RMB 40亿元的市场规模。
国内离子注入机市场基本被应用材料、Axcelis和日本Sumitomo垄断。国内离子注入机主要依赖进口,国产品牌仅有中科信及
万业企业 旗下的凯世通在某些12寸晶圆产线获得工艺验证通过,离子注入机的国产化仍处于快速起步阶段。
凯世通主营产品为离子注入机,可应用于集成电路、光伏和AM
OLED等领域,其中集成电路领域拳头产品为低能大束流离子注入机及高能离子注入机,适用于12英寸晶圆。
5月22日董秘回复:尊敬的投资者您好,公司旗下子公司凯世通生产制造多款中高端集成电路离子注入机系列产品,开拓覆盖逻辑、存储、功率等多个应用领域方向。其他相关情况请关注公司披露的定期报告及公告。感谢您对万业企业的关注。
5月8日董秘回复:尊敬的投资者,您好!目前国内集成电路制造厂采购国产化设备的空间和需求仍在持续提升。集成电路离子注入机是集成电路必不可少的前道核心设备,公司旗下凯世通打造的集成电路离子注入机系列产品获得多家重要客户采购订单和重复订单,市场渗透率不断提升,未来前景十分广阔。感谢您对万业企业的关注!
创投:
5月22日董秘回复:尊敬的投资者您好,公司入股上海半导体装备材料基金,该基金先后投资
飞凯材料 、
精测电子 、
长川科技 、华卓精科和上海御渡等,并购紫光控股等集成电路装备材料核心项目。此外,公司参股投资的上海半导体装备材料基金二期、镨芯电子、
富乐 德等项目进程有序推进,其中
富乐德 在 2022 年 12 月成功登陆创业板。公司借助参股企业进一步巩固产业链协同效应,完善公司集成电路业务布局。相关信息敬请及时关注公司的相关公告。感谢您对公司的关注!
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