光刻技术攻克后,要实现
光刻机量产还有不少的时间。特别是需要几万个零部件要达到高精准度的高端光刻机,其中的关键高精度零部件比如镜头、光源、轴承等,目前国内产业链还达不到,也需要联合攻关才能取得,这需要花费不少的时间。就如中科院微电子所院士所说,在光刻机方面国内与国外先进相比相差15-20年的距离。
光刻机目前的市场几乎被荷兰ASML、日本尼康和
佳能 、中国上海微电子设备集团四家所垄断。而在这里面,又分为三个档次,荷兰ASML垄断了高端光刻机市场份额,日本尼康和佳能处于中端但同时竞争中低端市场,而上海微电子只有低端光刻机市场。中光学曾经否认和光刻机沾边,那么作为仅次于ASML的尼康和佳能它们垄断了中低端的光刻机市场,谁是他们的供应商。供应商把部件供应给了尼康和佳能后,尼康和佳能把这些部件是否应用到光刻机的生产中,答案是肯定的。
国内没有生产高度精密的光刻机技术,但中光学作为供应商生产的部件供应给尼康和佳能后,后者把这些部件运用到光刻机的生产中,就像你本来就是华为手机的手机部件供应合作商,你无法生产手机,但是华为的手机有你的部件。你明明白白就是光刻机概念的供应商。所以,你就是光刻机概念。